清华大学官宣：EUV光刻胶重要进展！华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）

京城数码弟 2025-07-25 15:34:50

清华大学官宣：EUV光刻胶重要进展！

华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料上取得重要进展，开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶，为先进半导体制造中的关键材料提供了新的设计策略。 ​​​

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