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国产芯片设备突围:刻蚀机已达3nm,光刻机仍需追赶

芯片制造是门精细活,整个流程需要几百种设备、几百道工序。其中光刻、刻蚀、薄膜沉积三个环节最关键,分别对应光刻机、刻蚀机、

芯片制造是门精细活,整个流程需要几百种设备、几百道工序。

其中光刻、刻蚀、薄膜沉积三个环节最关键,分别对应光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备这三大核心设备。

光刻在最前头,用光在硅晶圆上"画"出电路图案;刻蚀接着按图案"雕刻"下层材料,构建电路结构;薄膜沉积则是在硅片上"铺"材料,一层层搭起电路架构。

这三个环节搞定,芯片基本就成型了。

光刻机这块,国产设备确实比ASML落后不少,差个十年甚至更多。

但刻蚀和薄膜沉积领域,咱们已经冲到全球顶尖水平。中微公司就是典型例子——这家2004年由尹志尧博士创办的企业,如今在刻蚀机领域已达3nm精度,薄膜沉积和MOCVD设备也全球领先。

中微的刻蚀机研发路走得不容易。2007年,他们推出中国首台电容性等离子体刻蚀设备,打破国外垄断。

早年间美国还限制先进刻蚀机出口中国,可中微突破后,限制反而取消了——再禁下去,美企自己要丢市场。后来中微越做越强,刻蚀机精度达3nm,成功打入台积电供应链,设备元件还实现了100%国产,完全自主可控,不怕卡脖子。

除了刻蚀机,中微的薄膜沉积设备和MOCVD设备也牛。特别是氮化镓基LED MOCVD设备,全球领先。

这说明中国企业完全能造出先进芯片设备。要是更多企业都能像中微这样,把水平提到全球顶尖,达到3nm甚至更先进,那咱们就能自己搞定所有设备,禁令再严也不怕了。

现在的问题是,光刻机这块还得加把劲。其他环节已经顶上来了,就剩光刻机这块短板。但中微的例子说明,只要肯钻研,设备技术是能追上来的。芯片制造是个系统工程,每个环节都得强,整体才能强。

中微的故事证明,国产芯片设备不是做不出来,而是需要时间积累。只要坚持自主研发,把核心设备一个个攻克,国产芯片产业链就能真正站稳脚跟,到时候禁令什么的,自然就成了废纸。

评论列表

美靓正1981易元坤
美靓正1981易元坤 4
2025-09-30 07:33
再接再厉!中国科技行业必须要更上一层楼。
龚建华
龚建华 2
2025-09-28 18:02
既然是人设计制造出来的东西,我们就一定能行。
闲来一场梦
闲来一场梦
2025-09-28 09:12
厉害了我的刻刀[点赞]