光刻机产业链全环节标的整理！12类核心方向，新手找标的不踩信息差

想了解光刻机相关标的，却总怕漏了关键环节、找错关联方向？特意整理了光刻机产业链从“核心关联”到“配套支撑”的12类标的，每类都讲清对应环节的作用，方便大家理解逻辑，仅供参考，不构成任何投资建议～

1. 光刻机核心股权关联：奥普光电、深振业A、深纺织A

这类标的主要是通过股权链路，与新凯莱等光刻机相关主体产生关联，相当于从“资本层面”绑定核心领域，是不少人关注的核心关联方向之一。

2. 光刻机直接供应商：江丰电子、新莱应材、富创精密、路维光电、同惠电子、利合兴

供应商是光刻机生产的“上游支撑”，不管是精密部件、配套耗材还是辅助设备，都需要这类企业提供，直接对接光刻机生产环节，关联性相对紧密。

3. 光刻机多重曝光技术关联：至纯科技、奥普光电、英诺激光、强力新材

多重曝光是当前突破光刻精度的关键技术之一，能在现有设备基础上提升芯片制程，这类标的聚焦该技术的研发或配套，是技术层面的重要关联方向。

4. 光刻胶核心材料：彤程新材、南大光电、上海新阳、容大感光、飞凯材料、晶瑞电材

光刻胶是光刻过程中“不可或缺的耗材”，相当于光刻的“涂料”，直接影响光刻精度和芯片质量，属于光刻机产业链里的核心材料赛道，需求稳定性强。

5. 光刻机光源部件：茂莱光学、福晶科技、波长光电、永新光学

光源是光刻机的“核心动力源”，没有稳定、高精度的光源，光刻环节根本无法推进，这类标的专注光源相关部件的研发生产，是光刻机核心组件的重要供给方。

6. 光刻机清洗设备：富乐德、蓝英装备、美埃科技

光刻前后都需要对晶圆、设备进行清洗，避免杂质影响光刻效果，清洗设备相当于光刻机生产和芯片制造的“清洁保障”，是配套环节里的刚需方向。

7. 光刻机精密传动部件：大族激光、中大力德、绿的谐波

光刻机对传动精度要求极高，一丝一毫的偏差都会影响光刻效果，精密传动部件就是“控制精度的关键”，这类标的提供的部件直接决定光刻机运行的稳定性。

8. 光刻机检测设备：赛腾股份、精测电子、华兴源创

光刻机生产完成后，需要通过检测设备验证精度、性能是否达标，芯片光刻后也需要检测良率，这类检测设备是“把控质量的最后一道关口”，不可或缺。

9. 光刻配套涂胶显影设备：芯源微、盛美上海

涂胶显影是光刻的“前后衔接步骤”——先涂胶（光刻胶）、再光刻、最后显影，这套设备直接对接光刻环节，是芯片制造中与光刻紧密联动的配套设备。

10. 光刻机掩模版相关：清溢光电、菲利华

掩模版相当于光刻的“底片”，光刻时需要将电路图案转移到掩模版上，再投射到晶圆上，这类标的提供掩模版本身或生产掩模版的核心材料，是光刻环节的关键配套。

11. 光刻后离子注入设备：万业企业、中微公司

光刻完成后，需要通过离子注入在晶圆上形成半导体特性，相当于“给芯片注入功能”，这类设备是光刻后制程的核心设备，与光刻机形成“前后联动”的产业链环节。

12. 光刻机配套气体/化学品：金宏气体、华特气体、雅克科技

光刻过程中需要特殊气体（如保护气、反应气）和专用化学品，来保障光刻环境稳定、避免芯片受损，这类配套物资是“维持光刻制程正常运行的基础”，需求刚性强。

最后想提醒一句：光刻机产业链环节多、技术壁垒高，不同标的的关联性、技术成熟度差异很大，大家看标的时，别只看“关联标签”，更要结合企业的核心业务、研发投入来判断，避免盲目跟风。