近日,全椒南大光电材料有限公司年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠项目环境影响评价第一次公示。
据悉,该项目位于安徽省滁州市全椒县经开区十谭园化工区新城大道以北、西环路以西。
项目分两期建设,一期新建甲类车间、丙类车间、甲类仓库一、甲类仓库二、丙类仓库一、丙类仓库二、黄磷罐区、液碱罐区、石灰库、水化间、动力车间、消防泵房、初期雨水池及事故池、中控室及综合楼等,一期购置合成反应釜、精馏提纯装置等生产设备建设年产200吨磷烷联产2500吨次磷酸钠产线;二期依托一期已建厂房、仓库及公用工程等,购置合成反应釜、精馏提纯装置等生产设备建设年产200吨磷烷联产2500吨次磷酸钠产线。
磷烷是半导体制造中的关键电子特气,主要用于N型掺杂(离子注入/扩散)、外延生长(如GaP材料)、MOCVD工艺及磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备,其高纯度(≥5N)直接影响芯片电学性能。
该项目两期全部建设完毕投产后,可达到年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠的生产能力规模。
南大光电
南大光电创办于2000年,总部位于苏州工业园区,是一家服务于集成电路、LCD、LED、新能源、OLED、化合物半导体领域的电子材料企业。公司以建设“国际一流的电子材料企业”为愿景,致力于为用户提供“更安全、绿色、经济和稳品质”的电子材料解决方案。
南大光电诞生于国家“863”计划,成长于国家“02-专项”。二十多年来,一直紧跟国家发展战略,围绕前驱体材料(包含MO源)、电子特气和光刻胶三类核心电子材料进行奋斗,并形成三大核心业务布局。公司在江苏苏州、浙江宁波、安徽全椒、山东淄博、内蒙古乌兰察布等地设立研发生产基地,在北美设立营销技术服务公司,成为布局全面的国内电子材料领军企业。
凭借多年的技术研发和产业化实践积累,公司掌握了多种关键半导体材料的核心技术和先进生产工艺,建立了领先的“合成、纯化、分析检测和安全储运”的技术体系。依托江苏省企业技术中心、高纯电子材料工程研究中心等企业自主创新平台,公司持续深耕高纯电子材料领域,圆满完成了多个国家、省市重大专项,荣获国家级“专精特新”小巨人和制造业“单项冠军”示范企业荣誉,为半导体产业自主可控发展贡献“真材实料”。