国产替代——上游半导体设备1，单晶炉2，扩散设备3，清洗设备4，氧化炉5，薄膜沉

和洽看情感 2025-04-17 08:01:09

国产替代——上游半导体设备

1，单晶炉

2，扩散设备

3，清洗设备

4，氧化炉

5，薄膜沉积设备

6，涂胶显影设备

7，离子注入设备

8，机械抛光设备

9，前道检测设备

10，刻蚀设备

11，微纳设备

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