真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。旋片式真空泵

工作原理：旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。

由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。

旋片式真空泵的性能特点：

旋片式真空泵有一种油封式真空泵和无油真空泵两种形式，属于低真空泵，可单独使用，也可作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

罗茨真空泵

工作原理：罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

罗茨泵具有以下特点：

在较宽的压强范围内有较大的抽速；

起动快，能立即工作；

对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；

转子不必润滑，泵腔内无油；

振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；

驱动功率小，机械摩擦损失小；

结构紧凑，占地面积小；

运转维护费用低。

爪式真空泵

爪式真空泵的核心在于两个非接触式爪形转子的精密啮合旋转，通过周期性改变腔体容积来吸入、压缩和排出气体。吸气阶段：两个爪形转子反向旋转，在进气口处形成低压区，气体被吸入泵腔。压缩阶段：转子继续旋转，腔体容积逐渐减小，气体被压缩。排气阶段：当转子旋转至排气口位置时，压缩后的气体被强制排出，完成一个工作循环。

爪式真空泵是无接触干式运行的容积式真空泵，设计用于满足苛刻的工业环境。独特设计的大容量和集成过滤器，保证了其更好的运行。具有维护费用低，低噪音，高效率，低能耗等特点。